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          碳化硅
          碳化硅部件

          碳化硅部件簡介

          在材料產品中,CVD-SiC是頗具成長性的產品,該產品可作為半導體生產設備的治具及部件。碳化硅是硅和碳1:1結合構成的一種化合物,其硬度僅次于鉆石和碳化硼。Ferrotec應用含有硅和碳的氣體即CVD工藝法來進行制造。以硅片為例,采用CVD法將碳化硅涂覆在加工成圓盤狀的石墨基材表面,切削外緣后,通過高溫氧化除去石墨基材,再經過數道后續加工,硅片就完成了。在能源等高端產業領域,碳化硅這種高純度材料受到越來越多的關注。
          聯系電話: 0571-88995910
          耐熱性
          耐熱性
          化學穩定性
          化學穩定性
          抗氧化性
          抗氧化性
          碳化硅部件的特性
          Ferrotec SiC部件產品具有較高的抗氧化性、化學穩定性和耐熱性,具備在2000度高溫時也可保持穩定的優良特性。它們被廣泛地應用于半導體材料的制造過程中需要的晶圓舟、管和代替硅片的仿真晶圓,也廣泛運用于高溫時使用的夾具產品。在半導體生產設備、汽車領域、能源領域等領域有廣泛應用。
          應用場景
          • 半導體生產設備
            半導體生產設備
          • 汽車領域
            汽車領域
          • 能源領域
            能源領域
          半導體生產設備
          汽車領域
          能源領域
          半導體生產設備
          半導體生產設備
          汽車領域
          汽車領域
          能源領域
          能源領域
          Matrix diagram of applications in various fields
          各領域的應用之矩陣圖
          該產品的生產基地
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